В Зеленоградском НИИТМ открылся новый Центр проектирования
Город, традиционно являющийся центром отечественной микроэлектроники, станет базой для целого кластера электронного машиностроения. Благодаря импортозамещению у российского рынка – огромный потенциал для роста.
В НИИ точного машиностроения (НИИТМ, г. Зеленоград, Московская область), входящем в группу компаний «Элемент» (совместное предприятие АФК «Система» и госкорпорации «Ростех»), открыт новый Центр проектирования оборудования для микроэлектроники. Комплекс площадью 1520 кв. м объединяет семь ключевых подразделений института – инженеров, конструкторов, программистов.
Современное пространство для новых идей
Главная задача нового центра – ускорение полного цикла разработки технологического оборудования: от первичных инженерных расчетов и концепций до создания конструкторской документации, программного обеспечения и испытаний установок. В Центре уже работает более 100 специалистов, а инфраструктура создана с учетом дальнейшего расширения штата.
Пространство спроектировано за счет НИИТМ и с учетом современных требований к рабочим зонам. Среди новых направлений деятельности – разработки в области роботизированных систем и технологий ионной имплантации, которые являются ключевыми процессами в производстве полупроводников.
Появление такого центра именно в НИИТМ закономерно, ведь этот институт – один из ключевых отечественных разработчиков оборудования для производства чипов. Сегодня в рамках комплексной программы развития электронного машиностроения институт создает важнейшие виды оборудования для замены импортного, поставки которого теперь затруднены.
Развитие производства стимулирует и новые рабочие места в инженерных и научных профессиях, формирует собственную индустрию оборудования.
Общение без барьеров
Открытие центра проектирования – по сути, элемент программы развития электронного машиностроения страны. До сих пор главной проблемой отрасли была зависимость от иностранных производителей. Появление собственных инженерных центров позволяет постепенно закрывать эти технологические разрывы.
Благодаря тому, что в новом Центре эксперты разных подразделений смогут в процессе производства напрямую общаться между собой, ускорится разработка оборудования. В Зеленограде традиционно сфокусирована российская микроэлектроника и собраны лучшие специалисты: здесь расположены НИИ молекулярной электроники (НИИМЭ), ГК «Микрон», «Ангстрем» и другие компании. В ситуации, когда необходимо импортозамещение больших объемов комплектующих, российский рынок обладает большим потенциалом для роста.
Год новых разработок
В последние годы в отрасли активно развиваются собственные технологии. Особенно успешным выдался 2025 год. Так, НИИМЭ и НИИТМ создали первые в России кластерные системы плазмохимического осаждения и травления, которые позволяют производить интегральные схемы с топологией до 65 нм на пластинах диаметром 200 и 300 мм.
Параллельно Минпромторг заключил контракт с предприятием «Микрон» на развитие производства микросхем, включая модернизацию оборудования и технологических линий. А НИИТМ начал разработку новых установок плазмохимической обработки пластин диаметром до 200 мм для создания тонких пленок и элементов микросхем. Одна из них – «Изофаз-В» – предназначена для химического осаждения вольфрама из газовой фазы. Другая – «Изофаз-Д» – для химического осаждения пленок SiO2/SiON/SiONGe.
Через 10 лет – полноценный сегмент экономики
Открытие центра проектирования НИИТМ – важный этап развития российской индустрии оборудования для микроэлектроники. В стране формируется собственная мощная индустрия.
Примерно к 2030 году в России будет сформирована отечественная линейка оборудования для ключевых операций производства микросхем. К этому времени значительная доля технологических установок на фабриках будет отдана отечественным производителям.
В отрасли уже появились свои флагманы. Например, производственная площадка «Yadro Фаб Дубна» (входит в ОЭЗ «Дубна») вышла на мощности, позволяющие выпускать до 50 000 единиц телекоммуникационного оборудования в год.
Также «Промышленность России» сообщала о том, что в Особой экономической зоне «Технополис Москва» открылось новое производство комплектующих для персональных компьютеров.
Тогда в следующую пятилетку можно будет говорить уже о формировании полноценного сегмента электронного машиностроения. В результате совокупный экономический эффект к 2035 году может составить 120–180 млрд рублей. Это не только сделают Россию независимой технологической державой, но и даст толчок развитию научно-инженерных кадров, а также поможет созданию базовой инфраструктуры для дальнейшего развития всей отрасли.
